十年磨一“片”

——看石家庄高新技术企业普兴电子若何突破半导体技术难题

克日，片河北普兴电子科技股份有限公司使命职员正在装取碳化硅外延片。高品 河北日报通信员 张晓峰摄

走进石家庄市鹿泉区河北普兴电子科技股份有限公司，质发展调庄高眼前目今的研行业普碳化硅外延片，彷佛透明的年磨CD唱片，满满的石家术企术难科技范儿。它的新技兴电浸染可不容小觑，假如把制作芯片比作盖屋子，突破体技题这便是半导屋子的框架。

如今，片普兴电子的高品碳化硅外延片产量，位居天下前线。质发展调庄高很难构想，研行业普就在20多年前，年磨这家企业连擦配置装备部署的石家术企术难布都要依附进口。

2006年，在国内当先量产6英寸硅外延片；

2010年，在国内当先量产8英寸硅外延片；

2014年，自主研收回第一套国产外延炉；

2020年，在国内当先量产6英寸碳化硅外延片；

…………

10多年功亏一篑，普兴电子用事实印证——

紧张中间技术是要不来、买不来、讨不来的，仅有前途便是分心苦干，自主立异。

一次自主研发的启迪——

“立异便是九去世平生，连结定力能耐并吞难关”

光阴转回到2005年。那一年，5英寸硅外延片市场正火，有货就不愁卖。

不缺市场的普兴电子，却斥巨资从外洋进口了一台斲丧6英寸产物的新单片炉配置装备部署。当时，企业一年的销售支出惟独四五万万元。

一光阴，疑难声四起：“卖患上好好的，为啥给自己找难题？”“这么贵，收患上回老本吗？”

公司总司理陈秉克态度刚强，因为他深知：“不中间技术，就永远拿不到工业话语权。”

那时，国内6英寸硅外延片的技术瓶颈还未突破，斲丧技术不履历可循，只能摸着石头过河。

科研职员分心苦干多少个月，第一批产物终于进去了。可是，就在大师满心欢欢贺喜的时候，成果来了。

“显明出厂检测及格，可到了用户那边，就会泛起探测不到的弱点。”副总司理袁肇耿回顾起来依然感应酸心。

最严正的一次，发了5000片货，退归来2500片。一气之下，他们把这些不同格产物砸碎，报废解决。

横在普兴电子眼前的，是一道道技术难题，彷佛一座座大山盖住了后退的道路。

那段日子，让陈秉克平生难忘。最难的时候，企业年尾利润是正数，二心有不甘：“必须搞出自己的技术！”

自打那时候起，试验室的灯就没熄过。十四五位科研职员，内心都憋着一口气，大师轮流倒班，倡导技术攻关。

成果出在哪儿？衬底抛光去除了量不够、工艺历程参数配置不精确、伤害层去除了不屈均、反映腔解决条件不同理……大师一个个查找，一个个解决。

一次又一次，光做试验的硅外延片，就报废了一万多片。“都是钱啊，一片片砸进去，一点响都听不到。”大师内心没底。

这项技术在国内属于空缺，不人知道要投入多少多，也不人知道要连结多久。

但不一总体气馁。

试验，失败；再试验，再失败……试探了一年光阴，终于找到新的检测方式，弱点率操作住了。

2006年，普兴电子终于经由自主研发，在天下当先批量斲丧出功能晃动的6英寸硅外延片。

中间技术带来了源源不断的定单。“最火的时候，客户带着现金住在厂里等着提货。”袁肇耿笑着说。

“立异便是九去世平生。连结定力，能耐并吞一个个技术难关。”回望那段履历，袁肇耿深有感触。

一次刚劲困绕的愿望——

“配置装备部署依附外国，工业发展就会受制于人”

清洁厂房的操作区内，8英寸硅外延片正在外延炉里清静愿望。呈现屏上灯光闪灼，技术职员认真审核各项技术参数运行状态。

“这套配置装备部署，是咱们自主研发的。”普兴电子斲丧部副部长许斌武话语里满是孤高。

2012年，定单直线俯冲，普兴电子豫备扩充产能。可是，灰溜溜地去外洋买配置装备部署的使命职员却被绊住了，谈了3个多月都没谈下来。

“卖给咱们的是淘汰配置装备部署，价格却比先进型号高，还提出先付钱、不保障交付期中不同理条件。”许斌武说。

“配置装备部署依附外国，工业发展就会受制于人。”普兴电子下定定夺：“自己研发！”

可是，自主研发配置装备部署，谈何重大？这是一个重大的系统，集机、电、合计机、被动化操作等技术为一体，所涉常识密集、学科泛滥，硬件、软件要求高。

高精度的旋转系统，一度成为“拦路虎”。“旋转折摇度差之毫厘，硅片从片篮传递到反映室就会发生偏移，斲丧出的产物就报废了。”袁肇耿说。

光这一个小关键，研发职员就用了近半年光阴重复试验。最终，请来编程专家一点点调整参数，终于实现精准晃动旋转。

就这样，一项项工艺重复调整，一个个部件精雕细琢，样机终于在两年后乐成问世，实现为了国产配置装备部署的突破。

没想到，老本着落了一半，但推广却蒙受难题。有人怀疑，不会是样子货吧？也有人对于国产配置装备部署不置信，说仍是用进口的靠谱。

置信，不是说进去的，而是做进去的。他们收费提供样片，做坚贞性验证，勤勉提供比进口品牌更真挚的服务。

两年日后，袁肇耿清晰感运用户对于国产配置装备部署态度的转变——“从不置信到违心试验了”。

“研发的历程，也让咱们对于配置装备部署有了更深入的清晰，便于更好地改善斲丧工艺。”袁肇耿说，好比改善感应线圈结构，能使斲丧功能普及15%；改善进气装置，负气场不同性普及10%。

一种立异攻坚的定夺——

“不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑”

脱离青山环抱中的普兴电子新外延资料工业基地，一座座高大的红色今世化厂房拔地而起。

“全副达产后，部份产能将扩充三倍，年产值达到30多亿元。”袁肇耿介绍。

如今，普兴电子已经愿望为国家级专精特新“小凡人”企业，也是河北省第一批县域特色工业集群“领跑者”企业。

这些年来，从第一代到第三代半导体资料，一批批实现“零的突破”的科研成果从这里源源走出。在国内当先晃动量产8英寸硅外延片；当先研制出碳化硅外延片……硅外延及碳化硅外延产物国内市场占有率超25%以上。

不光要冲破技术、配置装备部署，普兴电子还要“打造”国家规范。当初，该企业正退出拟订碳化硅弱点检测方式等三项国家规范。

不立异不可，立异慢了也不可。袁肇耿总有一种紧迫感：“半导体资料畛域，不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑！”

普兴电子不断在奔流，每一年投入少许资金妨碍新技术研发，当初正加速研发第四代半导体资料，未来将运用在5G通信、高速轨道交通等畛域。

不怕失败，艰辛磨砺。普兴电子10多年来的发展历程，符号出高新技术企业勇攀高峰、不断并吞前沿技术的赫然足印。（河北日报记者 周洁 张晓超）