三安半导体名目芯片厂房封顶 可达“百级”清洁度

　　科技日报讯 （记者俞慧友 通信员褚兴科 王丽）投资160亿元、百级占地面积1000亩的安半湖南省首个第三代半导体工业园及国内首条碳化硅研发斲丧全工业链斲丧线，有了新妨碍。导体度1月19日，名目记者从长沙高新区患上悉，芯片三安半导体名目最大单体M2B芯片厂房封顶，厂房占地23206平方米、封顶修筑面积52326平方米、可达钢构大屋面面积16500平方米。清洁

　　建树方中建五局三公司介绍,百级该名目主要包罗碳化硅长晶、衬底、安半外延、导体度芯片、名目器件封装等厂房及相干配套配置装备部署建树。芯片名目周全建成投产后，厂房将组成碳化硅研发以及斲丧全工业链两条斲丧线，斲丧可宽泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天以及无线（5G）通信等的高品质、低老本、高晃动性碳化硅衬底及种种器件。全副建成后预计可实现年产值120亿元以上，并可动员上鄙俚配套工业产值预计超1000亿元。

　　“名目主要服务于技术密集型的半导体工业。半导体斲丧对于空气清洁度有高要求。这次建树的芯片厂房达‘百级’清洁度。”中建五局三公司名目负责人周祥说。

　　所谓“百级”清洁，即每一立方英尺空气中粒径大于即是0.5微米的粒子数目不超过100个，堪比最高清洁品级手术室规范。名目技术负责人陆建臻呈现，为保障“百级”清洁，芯片厂房接管华夫板（运用楼板内孔洞组成回风通道的楼板）高精度施工，并建树清洁空调透风系统组成回风通道。芯片厂房华夫板厚度70厘米，可抗微震；华夫板面积达1410平方米，其中浇筑有35000个直径35厘米的奇氏筒，至关于每一2平方米就有5个用于换气的圆形孔洞。届时，芯片产线布置于华夫板上，整车间运用新风系统进气保障正压，并经由华夫板回风通道排气，最终保障车间清洁度。