新华网广州10月17日电（记者 田建川）记者从中国迷信院高能物理钻研所东莞钻研部患上悉，中探主技克日，测器中国散裂中子源探测器团队乐成制备出高功能大面积碳化硼薄膜，术及实现实现为了中子探测器主要技术以及器件的器件国产化。

中国散裂中子源是国产位于广东省东莞市境内的大迷信装置，被誉为审核宏不雅天下的中探主技“超级显微镜”，能在不同过错物资造成破损的测器条件下“看破”资料的宏不雅结构，中子探测器便是术及实现这个大迷信装置的“眼睛”。

据清晰，器件这次制备出的国产碳化硼薄膜样品单周全积达到1500毫米×500毫米，薄膜厚度1微米，中探主技全尺寸畛域内厚度平均性优于±1.32%，测器是术及实现当初国内上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。该样品由我国自主研制的器件磁控溅射大面积镀硼专用装置制备。

基于硼转换的国产中子探测器因其优异的功能已经成为日后国内上钻研的热门，随着中国散裂中子源二期工程行将启动，拟建的中子谱仪对于大面积、功能率、位置灵便的新型中子探测器需要紧迫。制备出高功能中子转换碳化硼薄膜是其中最中间的技术，当初惟独美国以及欧洲少数多少个发达国家把握了该项技术。

2016年，在核探测与核电子学国家重点试验室的反对于下，中国散裂中子源探测器团队与同济大学传授朱京涛相助，开始研制一台磁控溅射大面积镀硼专用装置，镀膜厚度畛域为0.01微米至5微米，同时反对于单、双面镀膜，反对于射频以及直流镀膜。2021年6月，该装置经由了重点试验室验收并投入运用。

经由多年的技术攻关以及工艺试制，中国散裂中子源探测器团队并吞了溅射靶材制作、过渡层抉择、基材外表解决等对于镀膜品质影响大的紧张技术，运用该镀硼专用装置制备了多种规格的碳化硼薄膜，并乐成运用于中国散裂中子源多台中子谱仪上的陶瓷GEM（气体电子倍增器）中子探测器，实现为了中子探测器主要技术以及器件的国产化，为接下来研制更大面积的高功能新型中子探测器提供了强有力的技术反对于。